首 页 |  中心概况 |  研究队伍 |  科研成果 |  国际交流 |  研究生教育 |  院地合作 |  党群文化  |  科学传播  |  信息公开
  纳米加工技术实验室
实验室介绍
主要设备和仪器
设备详细介绍
研究和任务
  您现在的位置:首页 > 纳米加工技术实验室 > 主要设备和仪器
主要设备和仪器
Main Facilities
 

 

1.电子束曝光设备(EBL)、紫外光刻设备(UVL)、纳米压印设备

　 (联系人：董凤良 82545831 82545557 南楼227)

 

2.电子束蒸发镀膜(EBE)、DC/RF磁控溅射镀膜、ICPECVD沉积镀膜

　(联系人：宋志伟 李晓军 82545839 82545641 南楼216）

　　

3.高密度等离子体ICP硅刻蚀机、高密度等离子体ICP金属刻蚀机、反应离子刻蚀机(RIE)、等离子去胶机

　（联系人：徐丽华 82545839 82545668 南楼218）

　　

4.RTO/RTP快速合金炉、湿法台(Wet Benches)、热氮烘干机、匀胶机

　（联系人：徐丽华 82545839 82545668 南楼218）

　　

5.台阶仪、椭圆偏振仪、光学显微镜、半导体参数测试仪，高分辨场发射扫描电镜(SEM)、划片机、引线焊接机

　 (联系人：董凤良 82545831 82545557 南楼227） 　　

　　

　　

国家纳米科学中心纳米加工技术实验室收费标准与收费办法（暂行） 　
 
网站地图  |  地理位置  |  联系我们  
Copyright 2003-2005 国家纳米科学中心 版权所有 备案序号：京ICP备05064431 京公网安备：110402500013
地址：北京市海淀区中关村北一条11号 　邮编：100190
电话：010-62652116　传真：010-62656765
Email：webmaster@nanoctr.cn