首 页 |  中心概况 |  研究队伍 |  科研成果 |  国际交流 |  研究生教育 |  院地合作 |  党群文化  |  科学传播  |  信息公开
  纳米加工技术实验室
实验室介绍
主要设备和仪器
设备详细介绍
研究和任务
  理事单位 更多>>
  机构设置
  挂靠单位
  ·纳米技术标准委
  您现在的位置：首页 > 纳米加工技术实验室 > 设备详细介绍
湿法台
Wet Benches
 
 

  型　  号：CETC 13 series

  功　　能：

  • 基片的湿法腐蚀(包括强酸、强碱、HF 酸)
    　 Wet etching of wafers using acids and bases
  • 基片的有机清洗
    　     Organic removal and cleaning of wafers

网站地图  |  地理位置  |  联系我们  
Copyright 2003-2005 国家纳米科学中心 版权所有 备案序号：京ICP备05064431 京公网安备：110402500013
地址：北京市海淀区中关村北一条11号 　邮编：100190
电话：010-62652116　传真：010-62656765
Email：webmaster@nanoctr.cn