纳米加工技术实验室
实验室介绍
主要设备和仪器
设备详细介绍
研究和任务
  理事单位 更多>>
  ·中华人民共和国国家发展和改革委员会
  ·中华人民共和国教育部
  ·中华人民共和国科学技术部
  ·中华人民共和国财政部
  ·中华人民共和国卫生部
  ·中国科学院
  ·中国工程院
  ·国家自然科学基金委员会
  ·北京市人民政府
  机构设置
  科研部门 支撑部门
  管理部门 其他机构
  挂靠单位
  ·纳米技术标准委
  ·CNAS纳米专业委员会
  ·纳米科技分会
  您现在的位置:首页 > 纳米加工技术实验室 > 实验室介绍
实验室介绍
Introduction to Nano- Fabrication Lab
 

国家纳米科学中心纳米加工技术实验室总面积约为1500m2,其中洁净区面积约600m2,而百级区约100m2。实验室拥有多台先进微纳加工设备和有关材料、器件等表征仪器,形成一条较为完备的微纳加工线。作为公共平台,为广大用户开放。 

实验室主要功能是针对在物理、化学、生物医学和材料等领域开展纳米研究所需要的各种微纳结构和原型器件进行加工和集成。除传统硅材料外,实验室还具有对尺寸不大于4寸的其它各类衬底材料进行加工的能力,可满足企业4吋片的小批量加工需求。为了加强作为交叉学科研究的纽带和平台的功能,实验室不仅要研究和发展传统加工工艺,而且要开发新型特殊工艺以满足集成工艺和技术的需求,最终满足国家在纳米领域的基础研究和应用基础研究的战略需求。

 
Nanofabrication Laboratory has a total clean-room area of about 600 m2 (about 100 m2 for class 100) in which there are diversified state-of-the-art fabrication facilities and some characterization tools available. It is capable of processing various wafers with a maximum size of 4 inch. As a public nanofabrication platform, this laboratory is accessible for the users of micro- and nano-technology both at home and abroad.

网站地图  |  地理位置  |  联系我们  
Copyright 2003-2005 国家纳米科学中心 版权所有 备案序号:京ICP备05064431 京公网安备:110402500013
地址:北京市海淀区中关村北一条11号  邮编:100190
电话:010-62652116 传真:010-62656765
Email:webmaster@nanoctr.cn