经国家纳米科学中心批准，中国科学院微电子所纳米加工与新器件集成技术实验室成为国家纳米科学中心协作实验室。2005年10月17日上午，该协作实验室揭牌仪式在微电子所举行。国家纳米科学中心副主任王琛研究员、中国科学院微电子所所长钱鹤研究员等出席了揭牌仪式。

　　 王琛副主任、钱鹤所长分别致辞。首先，王琛副主任简要介绍了国家纳米科学中心的情况，希望国家纳米科学中心和微电子所在纳米加工和新器件集成技术方面进行良好合作，为我国纳米科技的发展做出应有的贡献。钱鹤所长在致辞中介绍了纳米加工与新器件集成技术实验室的情况，对国家纳米科学中心和微电子所的合作表示衷心祝贺。最后，王琛副主任、钱鹤所长为协作实验室揭牌。