特色技术

基于FIB的绝缘样品加工技术

发布时间:2025-12-09 | 【打印】 【关闭】

绝缘体样品是扫描电镜(SEM)观察和聚焦离子束(FIB)加工比较常见的样品。样品在电子束或离子束辐照下,容易产生荷电效应,从而导致图像质量恶化或影响加工过程。针对该类样品,技术人员开了一种无需镀膜即可实现绝缘样品观察或加工的技术。

例如,聚酰亚胺材料的绝缘等级为最强级H级,在其表面进行FIB加工以及SEM观察一直都存在较大难度。利用该技术,可对聚酰亚胺上的Pt膜结构直接加工。

聚酰亚胺上的Pt膜的SEM图像及加工截面

 该技术具有普适性,其他绝缘样品的FIB加工结果如下:

光纤端面上FIB加工的结构

PDMS膜上FIB加工100nm以下的点阵结构