技术部研发的纳米光子器件高精准加工技术，可适用于绝缘材料、半导体等多种材料。利用该技术加工的器件侧壁陡直度达~90°，结构尺寸偏差＜2 nm@特征尺寸50 nm（如图1），光学性能与理论设计一致（如图2）。
图1. 超透镜纳米结构
图2. 光学聚焦设计与实验结果
