ITO薄膜是一种n型半导体材料，具有高导电率、高可见光透过率、高机械硬度和良好的化学稳定性，应用非常广泛。技术部自主研发了一套高质量ITO薄膜加工技术，采用该技术制备的百纳米厚度ITO薄膜（如图1）电学性能达到13Ω/□，可见光波段的透过率为88%~95%（如图2），且可根据需求进行定制。
图1. 百纳米厚度ITO薄膜剖面
图2. 薄膜在可见光波段具有高透过率
